順磁氧分析儀基于對磁化率的直接測量
　　
　　順磁氧分析儀樣氣壓力變化引起的誤差
　　
　　理論推斷出的居里公式可知，順磁性氣體的磁化率與壓力成正比，而與熱力學溫度的平方成反比。由于樣氣測量后，直接放空，大氣壓力或放空背壓的變化都會使檢測器中的樣氣壓力發生變化，從而影響到輸出數值。
　　
　　大氣壓力的變化：
　　
　　一是指季節或氣候變化導致的氣壓變化，在同一地點，這種變化通常是很微弱的，對測量誤差的影響一般可忽略不計，但在精密測量中仍需要考慮其影響；
　　
　　二是指儀器安裝地點的海拔高度不同帶來的測量誤差。如：大氣壓力由101.3KPA（760mmHg）變化到99.7KPA（740mmHg）時，儀器的示值降低2.63%。要消除這種誤差，只需在儀器投用前，對儀器重新校準，就可解決此誤差問題。
　　
　　放空背壓的變化，通常發生在分析后樣氣管堵和多臺儀器共用一根放空管線的氣堵而造成的變化，若頻繁發生氣堵現象，可通過加裝背壓調節閥或其它穩壓措施來解決。
　　
　　為了克服上述因素引起的測量誤差，有些精度的氧分析儀中帶有壓力補償措施。
　　
　　順磁氧分析儀樣氣流量變化引起的誤差
　　
　　樣氣流量變化引起的誤差較大，當流量波動±10%時，示值誤差可達1%…5%.為了減少這種影響，在熱磁式分析儀樣品處理系統中需要加裝穩壓裝置，對于你低量程的測量，還需要配置穩流閥，有的儀器采用擴散式結構的測量室來減少流量波動的影響。
　　
　　對于磁力機械式和磁壓力式氧分析儀來說，若樣氣密度和空氣相差較大時，需要重新尋找佳流速，既可以使響應達到大，又可以使流速在一定范圍內變化時，對輸出無影響。樣氣中背景氣成分引起的誤差
　　
　　磁力機械式和順磁氧分析儀基于對磁化率的直接測量，像氧化氮等一些強磁性氣體會對測量帶來嚴重干擾，所以不宜測量含有氧化氮成分的樣氣，如果氧化氮含量很少，可設法將其除掉后再進行測量。此外，一些較強逆磁性性氣體也會引起不容忽視的測量誤差。如氙等，若樣氣中含有較多的這類氣體時，也應予以清除或對測量結果進行修正。
　　
　　對于熱磁式氧分析儀來說，其測量原理不僅基于氣體的磁效應，還與氣體的熱效應有關，氣體熱導率以及密度等因素都會對熱傳導帶來影響，尤其是熱導率高而密度小的氫和密度很大的二氧化碳的影響更為顯著。如：氫含量增加0.5%時，儀器測量數值將降低0.1%O2；CO2含量增加1.5%時，儀器測量數值將增加0.1%O2。